半导体级
产品特性与优势
法兰密封
RF 密封面 + EPDM/PTFE 垫片,高压可靠密封。
拆装方便
法兰连接便于管路维护、设备检修。
耐化学腐蚀
全塑法兰或钢衬塑,满足腐蚀工况。
孔距精确
螺栓孔位置公差 ±0.5mm,与阀门/泵完美对接。
技术规格参数
| 技术参数 | 数值 | 单位 |
|---|---|---|
| 类型 | 标准法兰 / 盲法兰 / 活套法兰 | — |
| 材质 | PPH / CPVC / UPVC / PVDF | — |
| 规格 | DN15 ~ DN200 | — |
| 压力等级 | PN10 / PN16 | — |
典型应用场景
半导体晶圆制造
湿法工艺化学品输送(刻蚀液、清洗液、光刻胶剥离液等)。12英寸晶圆厂标准配置,直接影响制程良率。
光伏电池生产
制绒、扩散、刻蚀等工艺的酸碱腐蚀液输送管路。高温高腐蚀工况的可靠选择。
制药与生物科技
高纯水(WFI)输送、药液系统。符合FDA/GMP要求,无毒无析出,保障药品纯度。
化工与特种防腐
氯碱工业、农药、染料、特种化工等极端腐蚀工况。长期运行,大幅降低安全风险。
与其他材质对比
| 性能项 | PFA | PVDF | PPH | CPVC |
|---|---|---|---|---|
| 最高使用温度 | 260℃ | 150℃ | 100℃ | 95℃ |
| 耐强酸强碱 | 优秀 | 良好 | 良好 | 一般 |
| 耐有机溶剂 | 优秀 | 一般 | 差 | 差 |
| 洁净度等级 | SEMI F57 | 中等 | 低 | 低 |
| 可热熔焊接 | ✓ | ✓ | ✓ | ✓ |
| 价格水平 | 高 | 中 | 低 | 低 |
| 典型领域 | 半导体/光伏/制药 | 化工/制药 | 化工防腐 | 给排水/消防 |
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